多功能 3D光學(xué)/三維表面輪廓儀（ OPTELICS HYBRID+，三維光學(xué)共聚焦顯微鏡/激光共聚焦顯微鏡/白光共聚焦顯微鏡/三維表面輪廓儀 ），高度方向測(cè)量精度達(dá)0.05nm；系統(tǒng)整合了白光共聚焦+激光共聚焦技術(shù)；以雙共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，集6項(xiàng)測(cè)試功能于一體，包括白光共聚焦、激光共聚焦、微分干涉顯微鏡、垂直白光干涉顯微鏡、相差干涉顯微鏡、反射分光膜厚測(cè)量等功能；通常多臺(tái)設(shè)備才能完成的測(cè)量，僅需一臺(tái)設(shè)備即可實(shí)現(xiàn)，解決了需要使用多種工具的麻煩，滿(mǎn)足在各種測(cè)量場(chǎng)景中的測(cè)試需求。

• 提供6個(gè)測(cè)試功能模塊，應(yīng)對(duì)多樣測(cè)量需求

• 滿(mǎn)足行業(yè)測(cè)試規(guī)格要求，High精度

• 提供多種測(cè)量和分析

• 自動(dòng)化測(cè)量技術(shù)，高效測(cè)量

1. 白光共聚焦

寬視野+High精度測(cè)量

高清彩色觀察

2. 激光共聚焦

高倍·High 分辨率觀察

搭載波長(zhǎng)405nm的紫色半導(dǎo)體激光，無(wú)需前處理，以可媲美電子顯微鏡的High分辨率，鮮明捕捉納米級(jí)細(xì)微構(gòu)造。

3. 微分干涉測(cè)量

納米級(jí)凹凸觀察

共聚焦與微分干涉（DIC）相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)細(xì)微凹凸形狀的可視化。由于焦點(diǎn)深度極低，對(duì)于透明樣品可以排除其背面的影響僅對(duì)表面進(jìn)行觀察。

4. 垂直白光干涉測(cè)量

數(shù)毫米寬廣視野內(nèi)的納米級(jí)形狀測(cè)量

白光通過(guò)雙光束干涉鏡產(chǎn)生的干涉波形，通過(guò)垂直方向掃描找到干涉光強(qiáng)度高點(diǎn)，得到樣品的高度分布數(shù)據(jù)。原理上，高度分辨率不受物鏡放大倍數(shù)影響，因此可使用低倍鏡快速完成寬視野范圍測(cè)量。

5. 反射分光膜厚測(cè)量

納米級(jí)透明膜厚測(cè)量

利用波長(zhǎng)切換功能對(duì)6個(gè)波長(zhǎng)的絕對(duì)反射率進(jìn)行測(cè)量，光學(xué)建模計(jì)算得到膜厚。數(shù)nm～1μm的單層/多層膜厚可測(cè)量。測(cè)量區(qū)域在共聚焦觀察圖像上定義，亞微米區(qū)域～全視野的數(shù)mm區(qū)域的平均膜厚均可測(cè)量。而且因各個(gè)像素(pixel)的膜厚能夠計(jì)測(cè)，所以可以測(cè)量膜厚分布。

6. 相差干涉測(cè)量

埃米級(jí)形狀測(cè)量

白光通過(guò)雙光束干涉鏡產(chǎn)生的干涉條紋，與從樣品反射回的反射光的光程差直接相關(guān)。在垂直方向細(xì)微移動(dòng)得到4組干涉圖像，通過(guò)解析實(shí)現(xiàn)高分辨率的高度分布測(cè)量。

多種波長(zhǎng)切換

測(cè)量速度快