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激光光束分析儀是用于測量激光光束直徑、形狀和空間強度分布的儀器。光束直徑和空間強度分布是描述激光光束特性的重要參數，決定了激光光束光束質量。

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高功率激光材料測試儀用于高功率激光器和極深紫外EUV源的光學部件性能綜合測量，且性能和參數測量基于ISO國際標準。

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